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型號
Mode
技術(shù)參數(shù)
Technical Data
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L1216Ⅱ-1（單工位） |
L1211Ⅱ-1（單工位） |
L12800-1（雙工位） |
L1210Ⅱ（雙工位） |
加熱方式
Heating Mode |
鉬片電阻加熱
Molybdenum sheet |
鉬片電阻加熱
Molybdenum sheet |
鎳鉻絲電阻加熱（外加熱）
Ni-Cr（Exteral） |
鎳鉻絲電阻加熱
（外加熱）
Ni-Cr（Exteral） |
******加熱溫度
（空爐）
Max.Heating Temperature（no-load） |
1600℃ |
1100℃ |
800℃ |
1000℃ |
爐溫均勻性
Furnace Temperature Uniformity |
±5℃ |
±5℃ |
±5℃ |
±5℃ |
有效均溫區(qū)（mm）
Effective Temperature Dimension |
610W×458H×914L |
610W×610H×920L |
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爐膛尺寸
Furnace Chamber Dimension |
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Φ204×800 mm |
Φ204×800 mm |
控溫精度
Temperature Control Precision |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
溫控方式
Control Mode |
具有手動、自動，曲線設(shè)定及儲存，升、保、降溫雙向控制
Manual/Auto |
真空系統(tǒng)
Vacuum System |
擴散泵系統(tǒng)
Diffusion Pump System |
擴散泵系統(tǒng)
Diffusion Pump System |
擴散泵系統(tǒng)
Diffusion Pump System |
擴散泵系統(tǒng)
Diffusion Pump System |
極限真空度
（空爐）
Ultimate Pressure |
6×10-4Pa |
4×10-4Pa |
1×10-3Pa |
1×10-3Pa |
工作真空度
Working Vacuum |
2×10-3Pa |
4×10-3Pa |
1×10-2Pa |
1×10-2Pa |
壓升率
Pressure Rise Rate |
0.67 Pa/h |
0.67 Pa/h |
0.67 Pa/h |
0.67 Pa/h |
快冷系統(tǒng)
Cooling Air |
500℃～200℃時間≤20min |
壓縮空氣
Compressed Air |
0.6 M Pa～0.8 M Pa |
0.6 M Pa～0.8 M Pa |
0.6 M Pa～0.8 M Pa |
0.6 M Pa～0.8 M Pa |
設(shè)備總功率
Total Power |
260 KW |
140 KW |
13 KW |
16 KW |
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